氧化锆陶瓷ELID磨削加工

　　氧化锆陶瓷ELID磨削技术是一种磨削新工艺，其基本原理是利用在线的电解作用对金属基砂轮进行修整。即在磨削过程中在砂轮和工具电极之间浇注电解磨削液并加以直流脉冲电流，使作为阳极的砂轮金属结合剂产生阳极溶解效应而被逐渐去除，使不受电解影响的磨料颗粒凸出砂轮表面，从而实现对砂轮的修整，并在加工过程中始终保持砂轮的锋锐性。

　　氧化锆陶瓷ELID磨削技术成功地解决了金属基超硬磨料砂轮修整的难题，同时在线电解的微量修整作用使超细粒度砂轮在磨削过程中能保持锋锐性，为实现稳定的超精密磨削创造了有利条件。

　　氧化锆陶瓷使用＃8000(最大磨粒直径约为2µm)铸铁基金刚石砂轮对硅片进行磨削，获得了最大表面粗糙度值为0.1µm的高精表面。使用青铜基砂轮对陶瓷材料进行精密磨削也达到了相同的加工效果。

　　采用ELID磨削技术对硬质合金、陶瓷、光学玻璃氧化锆陶瓷等脆性材料实现了镜面磨削，磨削表面质量与在相同机床条件下采用普通砂轮磨削相比大幅度提高，部分工件的表面粗糙度Ra值已达到纳米级，其中硅微晶玻璃的磨削表面粗糙度可达Ra0.012µm。

　　这表明ELID磨削技术可以实现对氧化锆陶瓷脆性材料表面的超精加工，但加工过程中仍存在砂轮表面氧化膜或砂轮表面层的未电解物质被压入工件表面而造成表面层釉化及电解磨削液配比改变等问题，有待于进一步研究解决。