离子束加工是利用高速运动离子束的动能进行陶瓷加工。它可进行纳米级的超精细加工。它是在真空条件下，将离子源产生的离子束经过加速、聚焦，使之轰击工件表面。与电子束不同之处在于，离子束比电子束具有更大的撞击动能，它是靠微观机械撞击能量而不是靠动能转化为热能进行加工的。它最大的应用是离子刻蚀，离子刻蚀是一种原子尺度的切削加工，又称为离子铣削。
离子束技术是不断发展和完善的新型技术，它的应用范围非常广泛，加工的对象种类繁多又千变万化，几乎包括整个陶瓷材料科学的研究对象。离子束加工是近20年来用在陶瓷镜面加工中的一种计算机控制光学表面成型方法。离子束加工是一种高精度、确定性强的非接触式加工方法。由于离子束加工时对材料的去除是原子量级的，所以说离子束加工是高精度的加工方法。由于离子束束流大小容易控制，而且束流分布比较稳定，所以，用离子束加工可以获得稳定的束函数，加工过程确定性高，面形收敛快，也不存在小磨头磨损的问题。离子束加工不存在边缘效应，而且离子束加工是非接触式加工方法，非常适合于陶瓷材料的加工，也适合于异型镜的加工；由于离子束的这些优点，在国外离子束加工已成为陶瓷加工的一种常用方法。
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本文“陶瓷离子束加工介绍”由科众陶瓷编辑整理，修订时间：2019-03-16 16:19:11
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