浮动抛光表面特性

(1)表面结晶性。晶体的功能依赖于结晶结构，结构遭到破坏会引起功能下降。因此，在加工单晶时，最重要的质量指标是不破坏表面的结晶性。蓝宝石单晶( 1012)表面在100kV加速电压下的反射电子衍射象。用各种方法抛光蓝宝石单晶( 1012)面的试验结果表明，用8 μmSiC抛光的表面和用3 μm金刚石抛光的表面，其表面的结晶特性已遭破坏，而浮动抛光面和化学抛光面均获得明显的菊池线，这就表明加工表面的结晶基本保持良好。腐蚀只有内在的变形缩孔而加工不产生变形缩孔，说明单晶材料的浮动抛光不产生塑性变形。抛光Mn - Zn铁氧体单晶也得到同样的效果。
 
(2)表面磁特性。磁性材料的磁特性不仅对组织结构敏感，对应力也很敏感。一旦加工表面有残余应力，磁特性就会发生变化。Mn - Zn铁氧体环形工件的两个平面用各种方法进行加工后，发现浮动抛光面显示出有与化学腐蚀加工面同样的磁特性，这说明其表面没有残余应力。用Cr₂O₃抛光的表面下0.5μm深度有压缩的残余应力，导致常温下的起始导磁率降低到母材的60%左右。
 
(3)表面化学特性。在抛光过程中，抛光剂粒子元素侵入到工件最表层后，形成缺陷点。由于异质元素的侵入，其周围的结合力变弱。用不同种类的抛光剂进行蓝宝石单晶的抛光时，用IMA分析仪进行表面元素分析，得知，在抛光面下1μm以内，含有抛光剂的沟成元素，这显然不是简单的物理吸附现象。

 
用加工的方法不能去除这样微小的缺陷。因侵入的元素种类与使用的抛光剂材质有关；如果抛光剂的材料和纯度选择适宜，也不会发生异质元素的侵入。例如，用Si02抛光SOS用的蓝宝石基片，或用Zn0抛光用于光波导管的蓝宝石基片。在抛光人造水晶或光学玻璃时，为彻底避免抛光中的污染，应使用高纯度Si0：微粒作为抛光剂。
 
化学腐蚀是一种无畸变的加工，但腐蚀加工后工件表面元素的浓度与基体内部的浓度是不同的。浮动抛光与化学腐蚀的表面元素浓度分布是类似的。因此，认为浮动抛光也是与化学腐蚀一样的无畸变加工法。

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