氧化锆陶瓷加工刀具磨损规律

　　氧化锆陶瓷材料优良机械性能使其在微机电系统中有广阔的应用前景。采用微细切削加工方法在陶瓷生胚上加三维结构，即可提高加工效率，又可以降低成本．是很有前景的加工方法。

　　在氧化锆陶瓷生胚上微细结构加工边中尺寸精度的控制问题。氧化锆陶瓷生坯通过压力使粉末成型并具备一定强度，用三点抗弯实验测定了不同压制压力下的坯抗抗弯强度，得到了抗弯强度与压制压力的关系随着压制压力的增加，坯体的强度也在增加，并且基本呈线性变化。

　　通过比较微结判断氧化锆陶瓷加工质量的好坏结果表明氧化锆陶瓷坯体强度越大，氧化锆陶瓷加工质量越好。氧化锆陶瓷生胚在烧结后会出现一定的体积收缩，压力下压制的生胚收缩率变化。同一压力下．氧化锆陶瓷胚体x向和Y向收缩率一致，井且不同高度处的xY向收缩率无明显差异。随着压力的增加，x、Y、z向收缩率逐渐减少，z向收缩率对压力更敏感。

　　氧化锆陶瓷为得到尺寸正确的微细结构，究影响尺寸精度的因素，重点在z自R寸的控制。加工系统轴向变形量，得到了一定加工参数下轴向加工力的变化规律和系统的刚度，确定了系统的轴向变型量。

　　加工刀具磨损规律

　　刀具在初期磨损阶段和正常磨损阶段的相对体积损耗率，并推出了计算刀具轴向损耗量的经验公式。最后对系统轴自变形量、刀具磨损量、收缩事进行补偿，在生胚上加工微小型腔，结果表明加工及烧成尺寸与目标尺寸基本致，生胚工后z向最大绝对偏差l.4mm，致密化烧结后，z向最大绝对偏差3.8mm表明所采用的补偿方法可以有效控制z向尺寸。