陶瓷电子束加工是近十多年来得到较大发展的新型特种加工，可进行微米级加工，在陶瓷精密微细加工方面，特别是在微电子学领域中得到更多应用。电子束加工是在真空条件下，由电子枪射出的高速电子束经聚焦后轰击工件表面，形成局部高温，使材料瞬时熔化和气化，以去除材料进行加工。在加工陶瓷材料时，为防止温差引起工件变形以至破裂，需预热电子束。它主要应用于加工陶瓷微细小孔、异型孔及陶瓷特殊型面和刻蚀等。
陶瓷电子束加工的特点：①电子束可将90%以上的电能转换成热能；②电子束能量密度高，因而加工生产率很高；③电子束能量和能量密度的调节很容易通过调节加速电压、电子束流和电子束的汇聚状态来完成，整个过程易于实现自动化；④电子束加工是在真空条件下进行的，既不产生粉尘，也不排放有害气体和废液，对环境几乎不造成污染；⑤电子束照射能使表面生成非晶化层；⑥电子束照射能大幅度提高耐蚀性；⑦电子束照射能增强防水性；⑧电子束照射能在磨具精加工中实现新的、高效率的非手工抛光工序。
近年来，国外对电子束焊接及其它电子束加工技术的研究主要在于以下几个方面：①完善超高能密度电热装置；②掌握电子束晶质及与材料的交互行为特性，改进加工工艺技术；③通过计算机CNC控制提高设备柔性以扩大其应用领域。日本在最近已研制出了EBM磨具陶瓷表面抛光设备，这种如工装置是业界首创的一种加工技术，具有划时代的意义。我国经过多年的实践，在该领域也取得了一定成果，如大连理工大学三束材料改性国家重点实验室用电子束对材料表面进行照射，研究其对材料表面的改性等
地址：http://www.taocibang.cn/bangzhu/519.html
本文“陶瓷电子束加工方法”由科众陶瓷编辑整理，修订时间：2019-03-16 11:37:44
科众陶瓷是专业的工业陶瓷加工生产厂家，可来图来样按需定制，陶瓷加工保证质量、交期准时！
有疑问请点击咨询客服
